分光干渉式晶圓膜厚儀 SF-3 大塚電子Otsuka日本OTSUKA

即時(shí)檢測

WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強(qiáng)酸環(huán)境中)

產(chǎn)品特色

非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測
可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測
可對(duì)應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
可對(duì)應(yīng)線上檢測的外部信號(hào)觸發(fā)需求
采用*適合膜厚檢測的獨(dú)自解析演算法。(已取得磚利)
可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 *小Φ6μm
長期供應(yīng) 大冢光學(xué)OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備RETS-100     蘇州市新杉本電子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 蘇州新杉本直銷/聯(lián)系人陳小姐15250013623

1、VR/AR硬件設(shè)備：顯示設(shè)備、輸入設(shè)備、數(shù)據(jù)設(shè)備、跟蹤設(shè)備、跟蹤系統(tǒng)、定位系統(tǒng)、其它跟蹤等；

2、VR/AR技術(shù)：立體顯示技術(shù)、環(huán)境建模技術(shù)、真實(shí)感實(shí)時(shí)繪制技術(shù)、三維虛擬聲音技術(shù)、視覺實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)繪制技術(shù)、人機(jī)自然交互技術(shù)、傳感技術(shù)、物理仿真技術(shù)、三維全真技術(shù)、實(shí)時(shí)碰撞檢測技術(shù)等；

3、VR/AR系統(tǒng)設(shè)備：沉浸式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、桌面式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、增強(qiáng)式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、分布式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、視覺感知設(shè)備、聽覺感知設(shè)備、觸覺反饋設(shè)備、信息處理系統(tǒng)等；

4、VR生產(chǎn)設(shè)備及零配件：VR系統(tǒng)半導(dǎo)體、顯示器、光學(xué)鏡片、光學(xué)模組、微顯示器、傳感器、顯示芯片、顯示屏、微電子技術(shù)和系統(tǒng)集成等；

5、VR/AR軟件：建模工具軟件、開發(fā)工具軟件、web3D技術(shù)、cult3D技術(shù)、VRML虛擬現(xiàn)實(shí)建模語言、全景技術(shù)等；

6、VR/AR娛樂：VR樂園、VR旅游、VR/AR駕駛、VR建模游戲、VR射擊游戲、數(shù)字影院、數(shù)字影片、互動(dòng)多媒體、體感互動(dòng)、3D投射球幕影院、360全息投影、五維影院、VR影視、VR主題公園、VR賽車、VR跳舞、VR密室逃脫、VR二次元等；

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